當(dāng)前位置：
基本信息
項(xiàng)目所在地
廣東省深圳市南山區(qū)
詳細(xì)地址
學(xué)苑大道1088號(hào)
立項(xiàng)文號(hào)
2505-44****-680245
立項(xiàng)級(jí)別
地市級(jí)
立項(xiàng)批復(fù)機(jī)關(guān)
深圳市發(fā)展和改革委員會(huì)
立項(xiàng)批復(fù)時(shí)間
**** 00:00:00
總投資（萬元）
6000
總面積/長(zhǎng)度（平方米/米）
0
建設(shè)規(guī)模
項(xiàng)目建設(shè)主要用于購置研發(fā)EUV光源所需的設(shè)備。與驅(qū)動(dòng)光源相關(guān)的設(shè)備包括：高功率脈沖固體激光器、高功率閾值光學(xué)鏡片。與EUV收集相關(guān)的設(shè)備包括：大口徑橢球面鉬/硅多層膜反射鏡、小口徑球面鉬/硅多層膜反射鏡、EUV濾光片、碎屑防護(hù)薄膜。與真空腔相關(guān)的設(shè)備包括：真空腔體、機(jī)械泵、分子泵、真空計(jì)。高速成像系統(tǒng)包括：高速相機(jī)、照明激光器、延時(shí)器、觸發(fā)信號(hào)源、光學(xué)元件。液滴靶發(fā)生器相關(guān)的設(shè)備包括：壓電陶瓷、微米級(jí)噴嘴、高純度錫。等離子體輻射測(cè)量系統(tǒng)包括：EUV光譜儀、EUV光電二極管、法拉第杯、拉繆爾探針。
建設(shè)性質(zhì)
工程用途
計(jì)劃開工日期
數(shù)據(jù)等級(jí)
B
資金來源
項(xiàng)目環(huán)節(jié)
工程招投標(biāo)
合同信息
施工圖審查
施工許可
工程竣工驗(yàn)收備案
業(yè)績(jī)技術(shù)指標(biāo)
參建單位
建設(shè)單位
企業(yè)名稱/姓名
組織機(jī)構(gòu)代碼/身份證號(hào)碼
****
關(guān)鍵崗位人員
項(xiàng)目誠信
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