當(dāng)前位置：
為便于供應(yīng)商及時(shí)了解政府采購(gòu)信息，根據(jù)《財(cái)政部關(guān)于開(kāi)展政府采購(gòu)意向公開(kāi)工作的通知》（財(cái)庫(kù)〔2020〕10號(hào)）等有關(guān)規(guī)定，現(xiàn)將點(diǎn)擊登錄查看2025年度（第223批）采購(gòu)意向公開(kāi)如下：
| 序號(hào) | 采購(gòu)項(xiàng)目名稱 | 采購(gòu)需求概況 | 預(yù)算金額(萬(wàn)元) | 預(yù)計(jì)采購(gòu)時(shí)間 | 備注 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 點(diǎn)擊登錄查看干法刻蝕系統(tǒng)等設(shè)備采購(gòu)項(xiàng)目 | 采購(gòu)內(nèi)容：干法刻蝕系統(tǒng) 采購(gòu)數(shù)量：1臺(tái) 采購(gòu)內(nèi)容：干法刻蝕系統(tǒng)（二次配） 采購(gòu)數(shù)量：1臺(tái) 主要功能或目標(biāo)：1、儀器設(shè)備為刻蝕系統(tǒng)，其任務(wù)是支持潔凈實(shí)驗(yàn)室中的薄膜表面刻蝕和處理任務(wù)，支持的表面處理包括各向同性刻蝕和各項(xiàng)異性刻蝕等多種工藝需求，適用于先進(jìn)電子器件的制備和開(kāi)發(fā)。需在潔凈實(shí)驗(yàn)室 24 小時(shí)不間斷運(yùn)行環(huán)境下，保持高穩(wěn)定性和低故障率，全年理論工作時(shí)長(zhǎng)超過(guò) 1,000 小時(shí)；2、預(yù)期將3路特殊氣體從外部接入超凈間的干刻蝕設(shè)備，并實(shí)現(xiàn)特氣無(wú)害化處理 需滿足的要求：1、通過(guò)驗(yàn)收后，提供一年質(zhì)保。 2、與采購(gòu)的干刻蝕設(shè)備匹配，嚴(yán)格預(yù)防氣體泄漏風(fēng)險(xiǎn)，滿足氣體無(wú)害化排放，提供質(zhì)保 | 160.000000 | 2025年06月 | 無(wú) |
本次公開(kāi)的采購(gòu)意向是本單位政府采購(gòu)工作的初步安排，具體采購(gòu)項(xiàng)目情況以相關(guān)采購(gòu)公告和采購(gòu)文件為準(zhǔn)。
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