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點擊登錄查看2025年07月政府采購意向-EUV光源腔環(huán)境控制與流動測試平臺 詳細(xì)情況
| EUV光源腔環(huán)境控制與流動測試平臺 | |
| 項目所在采購意向： | 點擊登錄查看2025年07月政府采購意向 |
| 采購單位： | 點擊登錄查看 |
| 采購項目名稱： | EUV光源腔環(huán)境控制與流動測試平臺 |
| 預(yù)算金額： | 198.400000萬元(人民幣) |
| 采購品目： | |
| 采購需求概況 ： | 1. 等離子發(fā)生器：等離子體發(fā)生器功率要求0~300W連續(xù)可調(diào)，需內(nèi)置質(zhì)量流量控制器；真空度<0.1 Pa；等離子體密度：10-101cm3；可以處理O、N、Ar、H等氣體成份；反應(yīng)腔內(nèi)徑大于300 mm，高度150 mm；需要有過壓、過流、過熱保護；2. 質(zhì)譜分析儀：質(zhì)譜分析范圍1-300 amu，分辨率>50 at 10% peak height；靈敏度大于1×101 A/mbar; 掃描速度>20 amu/s; 采樣速率<1 ms; 背景噪音<101 A。 |
| 預(yù)計采購時間： | 2025-07 |
| 備注： | |
本次公開的采購意向是本單位政府采購工作的初步安排，具體采購項目情況以相關(guān)采購公告和采購文件為準(zhǔn)。
